振動盤/六英寸藍膜擴晶
10型 0.254mmX0.254mmX0.1mm
散料/藍膜/華夫盒/自粘盒/編帶
成熟傳統(tǒng)算法框架+AI檢測技術(shù)
2面/6面/7面外觀檢測
識別精度≥10μm
并聯(lián)電容Cp
重復(fù)性精度10pF以上≤±0.3%、10pF以下≤±0.03pF
重復(fù)性精度≤±0.001
可測量值>1TΩ,重復(fù)性精度≤20%
藍膜
擺盤角度偏差≤5°、擺盤最小間距0.1mm
單邊間隔≥0.03mm
≥97%
設(shè)備空轉(zhuǎn)UPH
60K
實時數(shù)據(jù)監(jiān)控統(tǒng)計、檢測數(shù)據(jù)保存、導(dǎo)出等功能
三相380V/0.5Mpa±0.1Mpa